晶圆缺陷检测解决“自动追焦”难题

为完美实现晶圆缺陷检测应用中的快速自动追焦难题，并实现了等间距触发高速相机采集图像，在晶圆缺陷检测领域发挥重要作用。

• 参考文献内容：

  • vision-systems-china
  • 科研资料
  • 虎嗅
  • 机器视觉系统在半导体晶圆缺陷检测中的应用